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空调系统节能：

洁净室恒温恒湿空调通风系统耗电占整厂耗电量的约40~60%，一座晶圆厂的耗电量相当于一座十万人口的城市；大部分已建成洁净室，为降低成本和赶工期，导致未能采用有效的节能设备和方案，限有的大量洁净室，有很大的节能改善空间；  

    采用更加节能、带热回收的主机；变频技术、及通过系统分析对整个空调系统采用智能控制，提高系统运行cop通过采取全面改善措施，可以降低系统耗电10~30%。